V. P. Savinov

Physics of Radiofrequency Capacitive Discharge (eBook, ePUB)

• Format: ePub

Produktbeschreibung

This book describes the physical mechanism of high-frequency (radio-frequency) capacitive discharge (RFCD) of low and medium pressure and the properties of discharge plasma in detail. The work is intended for scientists engaged in gas discharge physics and low-temperature plasmas, and relevant specialties.

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Produktdetails

• Verlag: Taylor & Francis eBooks
• Seitenzahl: 342
• Erscheinungstermin: 23. Mai 2018
• Englisch
• ISBN-13: 9780429894220
• Artikelnr.: 56833109

Autorenporträt

V. P. Savinov

Inhaltsangabe

Foreword
Introduction
Abbreviations
1. Main physical properties and characteristics of radiofrequency
capacitive discharge
2. Physical properties of near-electrode layers of space charge of RF
capacitive discharge
3. Edge effects in the RF capacitive discharge
4. Near-electrode electron beams in RF capacitive discharge
5. Physical properties of RF gas discharge plasma
References
Index