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Smart Material Systems and MEMS
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Vijay K. Varadan
K. J. Vinoy
Srinivasan Gopalakrishnan
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Design and Development Methodologies
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K. J. Vinoy
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RF MEMS and Their Applications (eBook, PDF)
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25. Juli 2003
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27. Juni 2011
Springer / Springer US / Springer, Berlin
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