Broschiertes Buch
Laser-Induced Backside Wet Etching
2008
VDM Verlag Dr. Müller / VDM Verlag Dr. Müller e.K.
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20. Februar 2004
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5. Oktober 2006
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6. Mai 2004
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20. August 2003
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Broschiertes Buch
Softcover reprint of the original 1st edition 2002
30. April 2002
Springer / Springer Netherlands
978-1-4020-0525-1
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