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Este libro informa del diseño, análisis y síntesis de un sensor de gas de monóxido de carbono basado en silicio que utiliza tecnología MEMS. Se hace hincapié en la investigación de la temperatura de la micro-hotplate a la variación de la potencia como el analito es sensible al gas específico a alta temperatura. El enfoque general perseguido en este trabajo es explorar la posibilidad de utilizar micro-hotplate para detectar el gas. Para completar el diseño del sensor, el análisis es la parte vital ya que muestra la distribución de la temperatura en el micro-hotplate. Para alcanzar el objetivo del libro, se diseña y simula un sensor de gas de monóxido de carbono basado en silicio para la detección química. La película sensora utilizada para la detección del gas monóxido de carbono es una película de óxido de estaño. Se utiliza ampliamente en aplicaciones de sensores de gas, ya que es sensible a gases específicos a altas temperaturas. Para conseguir una temperatura de funcionamiento tan elevada, se ha desarrollado una microestructura denominada microplaca caliente.