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Diamantbeschichtete Schneidwerkzeuge sind Werkzeuge der neuen Generation und spielen eine wichtige Rolle bei der effizienten Trockenbearbeitung von Nichteisenwerkstoffen. Sie ersetzen alle herkömmlichen unbeschichteten und beschichteten Werkzeuge. Dies führt zu einer Verringerung der Materialablagerungen an der Schneide, senkt die Schnittkraft und verbessert die Oberflächengüte des Werkstücks. Ein wichtiger Schritt bei der Herstellung von CVD-Diamantbeschichtungen ist die Keimbildung. Prozessparameter wie die Vorbehandlung des Substrats und die Impfmaterialien beeinflussen die Keimbildung, das Wachstum, die Morphologie und die Reinheit der CVD-Diamantbeschichtung, was sich auf die Haftung am Schneidwerkzeug auswirkt. Die vorliegende Untersuchung hatte zum Ziel, eine systematische Studie über den Einfluss der Prozessparameter auf die Beschichtungseigenschaften durchzuführen. Es wurde eine detaillierte Untersuchung zum Einfluss des Abscheidungsdrucks auf die Keimbildung und das Wachstum von Diamantbeschichtungen auf unbehandelten, vorbehandelten und mit Diamant beschichteten Substraten durchgeführt.