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Riportiamo la crescita di nanofili InSb ultra piccoli attraverso il meccanismo VLS (vapor-liquido-solido) con il metodo della deposizione chimica del vapore. I parametri di crescita sono ottimizzati per produrre nanofili uniformi e ultra piccoli. Le proprietà strutturali dei NWs cresciuti sono studiate attraverso la microscopia elettronica a scansione e la microscopia a forza atomica. Gli studi di microscopia elettronica a scansione confermano la modalità di crescita della punta dei nanofili attraverso il meccanismo VLS. I diametri dei nanofili cresciuti si trovano ad essere 8-10 nm. Le caratteristiche morfologiche sono studiate attraverso la microscopia a forza atomica. Ogni NW contiene un catalizzatore Au di dimensioni nanometriche nella parte inferiore del filo che indica la modalità di crescita della punta dal meccanismo VLS.