Günter Schumicki, Peter Seegebrecht

Prozeßtechnologie

Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen

• Broschiertes Buch

Produktbeschreibung

Prozeßtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluß daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozeß für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.

Produktdetails

• Mikroelektronik
• Verlag: Springer, Berlin
• 1991.
• Seitenzahl: 520
• Erscheinungstermin: 8. März 1991
• Deutsch
• Abmessung: 244mm x 170mm x 28mm
• Gewicht: 858g
• ISBN-13: 9783540176701
• ISBN-10: 3540176705
• Artikelnr.: 36099968

Inhaltsangabe

1 Einleitung.- 2 Reinstraumtechnologie.- 3 Materialtechnologie.- 4 Strukturerzeugung.- 5 Strukturübertragung.- 6 Thermische Oxidation.- 7 CVD-Verfahren.- 8 Metallisierung.- 9 Diffusionsverfahren.- 10 Ionenimplantation.- 11 Reinigungsverfahren.- 12 Prozeßintegration.- 13 Design-Regeln.- 14 Prozeßcharakterisierung.- 15 Prozeßkontrolle.- 16 Ausbeute und Zuverlässigkeit.