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Il lavoro riguarda il campo delle nanotecnologie, in forte espansione negli ultimi decenni. Molti aspetti rimangono ancora poco chiari e richiedono ulteriori approfondimenti. Il lavoro proposto contiene un'analisi delle leggi che regolano la formazione di elementi di ricostruzione e strutture a cluster sulle superfici Si(111) e Si(557). Sono state studiate le caratteristiche della formazione della ricostruzione 7x7 sulla superficie vicinale Si(557). È stato stabilito che, a differenza della superficie Si(111), la formazione dei cluster sulla superficie Si(557) non inizia immediatamente con l'inizio della polverizzazione. Il ritardo è pari al 20% del tempo totale di polverizzazione del monostrato. Durante questo ritardo, gli atomi di indio si depositano sui gradini, formando zone di rivestimento non strutturato di indio. È stato fatto un tentativo di spiegare la causa della formazione di ricostruzioni così complesse come 7x7 o 5x5. È stata formulata una versione della creazione della metodica STMS - scansione simultanea del rilievo della superficie e rilevamento delle dipendenze spettroscopiche.