Werner Prost

Technologie der III/V-Halbleiter

III/V-Heterostrukturen und elektronische Höchstfrequenz-Bauelemente

• Broschiertes Buch

Produktbeschreibung

Für zahlreiche neue Anwendungen vor allem in der Kommunikationstechnik sind die III-V-Verbindungshalbleiter die technologische Basis. Entsprechend wertvoll wird das Wissen über die Herstellungstechniken von Bauelementen für integrierte Mikrowellenschaltungen, denen dieses Werk gewidmet ist. Es wendet sich als Lehr- und Fachbuch an Studenten und Entwicklungsingenieure, denen der Einstieg in dieses Gebiet durch den methodischen Ansatz und den Verweis auf die aktuelle internationale Fachliteratur erleichtert wird. Besonders hervorzuheben ist die ausführliche Behandlung von Halbleiter-Heterostukturen.

Produktdetails

• Verlag: Springer / Springer Berlin Heidelberg / Springer, Berlin
• Artikelnr. des Verlages: 978-3-540-62804-0
• 1997.
• Seitenzahl: 220
• Erscheinungstermin: 14. August 1997
• Deutsch
• Abmessung: 235mm x 155mm x 13mm
• Gewicht: 352g
• ISBN-13: 9783540628040
• ISBN-10: 3540628045
• Artikelnr.: 24228553

Inhaltsangabe

1: Herstellung von III/V- Halbleiter-Heterostrukturen.- 0 Einleitung.- 1 Halbleiter-Materialsysteme.- 2 Halbleiterkristallzucht (GaAs).- 3 Herstellung aktiver Bauelementschichten.- 4 Material-Charakterisierung von Halbleiter-Heterostrukturen.- 2: Technologie elektronischer Höchstfrequenz-Bauelemente.- 5 Abscheidung und Charakterisierung dielektrischer Schichten.- 6 Bauelementtechnologie.- 7 Umweltschutz und Arbeitssicherheit.- Übungsaufgaben.- Liste der verwendeten Formelzeichen.- Druck-Umrechnungstabelle.- Naturkonstanten.- Stichwortverzeichnis.