Behandelt werden Messungen an dünnen Schichten während und nach der Beschichtung, Schichtdickenmeßverfahren, Verfahren der Dünnschichtanalyse sowie die Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen.
Behandelt werden Messungen an dünnen Schichten während und nach der Beschichtung, Schichtdickenmeßverfahren, Verfahren der Dünnschichtanalyse sowie die Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen.
1 Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen.- 1.1 Vorbemerkungen.- 1.2 Steuerungssysteme.- 1.3 Materialfluß.- 1.4 Automatisierung von Teilsystemen.- 1.5 Beispiele für die Automatisierung von Beschichtungsprozessen.- 2 Messungen an Dünnen Schichten während des Beschichtungsprozesses.- 2.1 Bestimmung der Schichtdicke durch Widerstandsmessung.- 2.2 Ratenmessung durch Teilchen-Ionisierung und -Anregung.- 2.3 Schichtdicken und Aufdampfratemessung mit Schwingquarz.- 2.4 Optische Meßverfahren.- 2.5 Schichtdickenbestimmung durch Wägung im Vakuum.- 2.6 Bestimmung der Schichtdicke und der Schichtzusammensetzung durch Röntgenemission und Röntgenfluoreszenz.- 2.7 Atomemissionsspektroskopie.- 3 Messungen an dünnen Schichten nach beendetem Beschichtungsprozeß.- 3.1 Messung der thermischen Leitfähigkeit.- 3.2 Elektrische Leitfähigkeit.- 3.3 Magnetische Eigenschaften.- 3.4 Messung von Farbeigenschaften.- 3.5 Optische Eigenschaften.- 3.6 Permeation.- 3.7 Mechanische Spannungen in dünnen Schichten.- 3.8 Härtemessung.- 3.9 Haftfestigkeit.- 3.10 Rauheit von Festkörperoberflächen.- 3.11 Mikrogeometrische Eigenschaften.- 3.12 Schichtdickenmessung.- 3.13 Bestimmung von Pinholedichten.- 4 Moderne Verfahren der Oberflächen-und Dünnschichtanalyse.- 4.1 Physikalische Grundlagen oberflächenanalytischer Verfahren.- 4.2 Ortsaufgelöste Analysen mit AES, XPS, SIMS und SNMS.- 4.3 Sputter-Tiefenprofilanalysen.- 4.4 Rastertunnelmikroskopie.- 4.5 Mikrosonde (Elektronenstrahlmikrosonde).- 4.6 Anwendungsbeispiele zur Oberflächen-und Dünnschichtanalytik.- Literatur.- Sachwortverzeichnis.- Autorenverzeichiiis.
1 Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen.- 1.1 Vorbemerkungen.- 1.2 Steuerungssysteme.- 1.3 Materialfluß.- 1.4 Automatisierung von Teilsystemen.- 1.5 Beispiele für die Automatisierung von Beschichtungsprozessen.- 2 Messungen an Dünnen Schichten während des Beschichtungsprozesses.- 2.1 Bestimmung der Schichtdicke durch Widerstandsmessung.- 2.2 Ratenmessung durch Teilchen-Ionisierung und -Anregung.- 2.3 Schichtdicken und Aufdampfratemessung mit Schwingquarz.- 2.4 Optische Meßverfahren.- 2.5 Schichtdickenbestimmung durch Wägung im Vakuum.- 2.6 Bestimmung der Schichtdicke und der Schichtzusammensetzung durch Röntgenemission und Röntgenfluoreszenz.- 2.7 Atomemissionsspektroskopie.- 3 Messungen an dünnen Schichten nach beendetem Beschichtungsprozeß.- 3.1 Messung der thermischen Leitfähigkeit.- 3.2 Elektrische Leitfähigkeit.- 3.3 Magnetische Eigenschaften.- 3.4 Messung von Farbeigenschaften.- 3.5 Optische Eigenschaften.- 3.6 Permeation.- 3.7 Mechanische Spannungen in dünnen Schichten.- 3.8 Härtemessung.- 3.9 Haftfestigkeit.- 3.10 Rauheit von Festkörperoberflächen.- 3.11 Mikrogeometrische Eigenschaften.- 3.12 Schichtdickenmessung.- 3.13 Bestimmung von Pinholedichten.- 4 Moderne Verfahren der Oberflächen-und Dünnschichtanalyse.- 4.1 Physikalische Grundlagen oberflächenanalytischer Verfahren.- 4.2 Ortsaufgelöste Analysen mit AES, XPS, SIMS und SNMS.- 4.3 Sputter-Tiefenprofilanalysen.- 4.4 Rastertunnelmikroskopie.- 4.5 Mikrosonde (Elektronenstrahlmikrosonde).- 4.6 Anwendungsbeispiele zur Oberflächen-und Dünnschichtanalytik.- Literatur.- Sachwortverzeichnis.- Autorenverzeichiiis.
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