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VLSI (Very Large Scale Integration) Designaktivitäten sind der Schlüssel zum erfolgreichen Einführen vieler neuer Produkte. VLSI-Designaktivitäten verzeichnen ein jährliches Wachstum von über 20 %. Die Erfolgsquote von VLSI-Design wird jedoch durch Faktoren wie die Verringerung geometrischer Merkmale und die Integration analoger, digitaler und HF-Funktionsmodule beeinträchtigt. Die VLSI-Schaltungsbearbeitungstechnologie ist die einzige vielversprechende Lösung, um technologische Lösungen zur Bestätigung und Validierung von Fehlern im Zusammenhang mit dem VLSI-Design zu bieten. Das Buch enthält eine kurze Beschreibung des fokussierten Ionenstrahlsystems und seines Zubehörs, mit denen die Schaltungsbearbeitungstechnologie implementiert wird. Es werden Methoden für die VLSI-Schaltungsbearbeitung beschrieben. Dazu gehören die Entkapselung von ICs, die Entfernung von Polyimid, das Schneiden von Metallen, die Metallabscheidung usw. Einige der neuartigen Techniken, die für die VLSI-Schaltungsbearbeitung entwickelt wurden, werden beschrieben. Das Buch zeigt auch verschiedene neue Herausforderungen in diesem Bereich auf. Diese Herausforderungen müssen in Zukunft angegangen werden, um die VLSI-Schaltungsbearbeitung weiterzuentwickeln und Lösungen anzubieten. Die Halbleiterindustrie kann nur mit der erfolgreichen Implementierung der VLSI-Schaltungsbearbeitung überleben und wachsen.