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Inhaltsangabe
1 Einleitung.- 1.1 Was ist Laserchemie?.- 1.2 Laser für die Laserchemie.- 1.3 Laserchemie im Vergleich zu anderen Techniken.- 1.4 Anreize der Laserchemie.- 2 Wechselwirkungen zwischen Laserlicht und Materie.- 2.1 Festkörper.- 2.2 Flüssigkeiten.- 2.3 Gasphase und Plasma.- 2.4 Selektivität der Laserchemie.- 3 Laserinduzierte Chemie in der Gasphase.- 3.1 IR-Laserchemie.- 3.2 UV-Laserchemie.- 3.3 Hochanregung und Plasmabildung.- 3.4 Laserisotopentrennung.- 3.5 Verfahrensmerkmale und Anwendungen.- 4 Laserinduzierte Chemie in Lösungen, Matrizen und Adsorbatschichten.- 4.1 Laserchemie in Lösungen.- 4.2 Laserchemie in Matrizen.- 4.3 Laserchemie in Adsorbatschichten.- 4.4 Verfahrensmerkmale und Anwendungen.- 5 Laserinduzierte Prozesse in kondensierter Materie.- 5.1 Lokales Schmelzen und Kristallstrukturänderungen.- 5.2 Eindiffusion in Oberflächenschichten.- 5.3 Laserchemie in Oberflächenschichten.- 5.4 Dreidimensionale Strukturierung.- 5.5 Verfahrensmerkmale und Anwendungen.- 6 Laserchemische Abscheidung von Festkörpern aus der Gasphase.- 6.1 Ultrafeine Pulver.- 6.2 Abscheidung dünner Festkörperschichten.- 6.3 Verfahrensmerkmale und Anwendungen.- 7 Laserelektrochemie.- 7.1 Lasergalvanische Abscheidung.- 7.2 Laserelektrochemische Auflösung.- 7.3 Verfahrensmerkmale und Anwendungen.- 8 Festkörperabtragung mit Lasern und Dünnschichtabscheidung.- 8.1 Laserverdampfung und -ablation.- 8.2 Trockenes laserchemisches Ätzen.- 8.3 Dünnschichtherstellung.- 8.4 Verfahrensmerkmale und Anwendungen.- 9 Wirtschaftlichkeit der Laserchemie.- 9.1 Quantenausbeute, Licht- und Materialkosten.- 9.2 Produktionskosten der Laserchemie.- 9.3 Zwischenbilanz.- 10 Zusammenfassung und Ausblick.
1 Einleitung.- 1.1 Was ist Laserchemie?.- 1.2 Laser für die Laserchemie.- 1.3 Laserchemie im Vergleich zu anderen Techniken.- 1.4 Anreize der Laserchemie.- 2 Wechselwirkungen zwischen Laserlicht und Materie.- 2.1 Festkörper.- 2.2 Flüssigkeiten.- 2.3 Gasphase und Plasma.- 2.4 Selektivität der Laserchemie.- 3 Laserinduzierte Chemie in der Gasphase.- 3.1 IR-Laserchemie.- 3.2 UV-Laserchemie.- 3.3 Hochanregung und Plasmabildung.- 3.4 Laserisotopentrennung.- 3.5 Verfahrensmerkmale und Anwendungen.- 4 Laserinduzierte Chemie in Lösungen, Matrizen und Adsorbatschichten.- 4.1 Laserchemie in Lösungen.- 4.2 Laserchemie in Matrizen.- 4.3 Laserchemie in Adsorbatschichten.- 4.4 Verfahrensmerkmale und Anwendungen.- 5 Laserinduzierte Prozesse in kondensierter Materie.- 5.1 Lokales Schmelzen und Kristallstrukturänderungen.- 5.2 Eindiffusion in Oberflächenschichten.- 5.3 Laserchemie in Oberflächenschichten.- 5.4 Dreidimensionale Strukturierung.- 5.5 Verfahrensmerkmale und Anwendungen.- 6 Laserchemische Abscheidung von Festkörpern aus der Gasphase.- 6.1 Ultrafeine Pulver.- 6.2 Abscheidung dünner Festkörperschichten.- 6.3 Verfahrensmerkmale und Anwendungen.- 7 Laserelektrochemie.- 7.1 Lasergalvanische Abscheidung.- 7.2 Laserelektrochemische Auflösung.- 7.3 Verfahrensmerkmale und Anwendungen.- 8 Festkörperabtragung mit Lasern und Dünnschichtabscheidung.- 8.1 Laserverdampfung und -ablation.- 8.2 Trockenes laserchemisches Ätzen.- 8.3 Dünnschichtherstellung.- 8.4 Verfahrensmerkmale und Anwendungen.- 9 Wirtschaftlichkeit der Laserchemie.- 9.1 Quantenausbeute, Licht- und Materialkosten.- 9.2 Produktionskosten der Laserchemie.- 9.3 Zwischenbilanz.- 10 Zusammenfassung und Ausblick.
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