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  • Format: PDF

Mikrosystemtechnik trägt dem Bedarf an fundiertem Fachwissen dieser künftigen Schlüsseltechnologie Rechnung. Als Lehrbuch konzipiert, erschließt es dem Leser Grundlagen und Anwendungen komplexer Mikrosysteme, in denen elektronische, mechanische und optische Funktionselemente auf kleinstem Raum integriert sind.

  • Geräte: PC
  • ohne Kopierschutz
  • eBook Hilfe
  • Größe: 51.94MB
Produktbeschreibung
Mikrosystemtechnik trägt dem Bedarf an fundiertem Fachwissen dieser künftigen Schlüsseltechnologie Rechnung. Als Lehrbuch konzipiert, erschließt es dem Leser Grundlagen und Anwendungen komplexer Mikrosysteme, in denen elektronische, mechanische und optische Funktionselemente auf kleinstem Raum integriert sind.

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Autorenporträt
Prof. Dr. Friedemann Völklein lehrt an der FH Wiesbaden. Dr. Thomas Zetterer ist wissenschaftlicher Abteilungsleiter am Institut für Mikrotechnik in Mainz.