Zur erfolgreichen Nutzung der Vorteile der Mikrosystemtechnik benötigt der Ingenieur ein fundiertes Grundwissen. Neben grundlegenden Konzepten der Mikrosystemtechnik werden detailliert Realisierungsbeispiele von Mikrosystemen beschrieben. Zahlreiche Übungsaufgaben am Ende eines jeden Kapitels dienen der Selbstkontrolle, aber auch der Festigung des behandelten Stoffes. Das Buch wendet sich an Studierende der Elektrotechnik und der Physik mit dem Schwerpunkt Mikrosystemtechnik. Auch der Praktiker aus der Industrie kann zahlreiche interessante Informationen aus diesem Buch entnehmen.
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